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HCP1000V-MPS   XYZ模塊化高溫探針臺 



HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、

多溫度范圍。


同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，

亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。


            


功能特點：

·mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備

·可編程控溫，涵蓋RT~1000℃

·適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件

·可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

·獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針

·可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

·模塊化設計，可自由組合

·可升級為8個獨立探針

·SMA接頭轉BNC四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于pA級測試